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Anlage, Seite 3

Vakuum-System

acuum

Liquid

10 11

MFC

Carrier

Processgas

acuum

LFM

Inertgassupply

Process

Vacuum

Valve

Heated

line

CEM

Liquid Gas

A) Füllen des Systems:

organg:Vorgehensweise:

orgehensweise:

A1) Evakuieren der Vakuum-Rohrleitungen. Pumpen starten

A2) Evakuieren aller Rohrleitungen Schließen: 2, 3, 5, 10 und 9.

Inertgas an den Trägergaseinlaß anschließen.

Öffnen: 1, 4, 7, 11.

Sollwert für Gas- und Flüssigkeitsregelung setzen

(Regelventile 6 und 8 offen).

Längere Zeit pumpen.

Hinweis: wenn das System nicht völlig trocken ist, verfahren

Sie wie unter E3, E4 (E5) angegeben

A3) Spülen der Rohrleitung zwischen

Inertgasquelle und Ventil 2

Schließen: 4.

Öffnen Sie Ventil 2 kurz für einige Sekunden.

A4) Spülen der Rohrleitung zwischen Prozeß

Gasquelle und Gas MFC

Geben Sie dem Flüssigkeitsmesser Sollwert 0

(6 schließt).

Öffnen Sie Ventil 9 kurz für einige Sekunden.

A5) Evakuieren von Flüssigkeits dämpfen.

3 kurz öffnen und wieder schließen.

A6) Flüssigkeitsversorgung unter Druck setzen. Schließen Sie 1, geben Sie der Inertgas-

Versorgung den richtigen Druck. Öffnen Sie 2,

öffnen Sie 3 kurz.

A7) Füllen von Flüssigkeit in das System

(1)

. Während des Füllens des System lassen

in das Trägergasrohr fließen.

Schließen Sie 7.

Öffnen Sie 5 kurz, lassen Sie das

Mischventil auffüllen.

A8) Optional: Entgasung des Mischventils Öffnen Sie 7. Um zu verhindern, daß zu viel Flüssigkeit

weggepumpt wird, eignet sich am besten ein Nadelventil.

A9) Das System ist nun betriebsbereit.

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